Выбор технологических и физических параметров потоков ионов разных сортов, энергий и зарядов для получения слоев наноструктур, требуемых размеров зерна, толщин и физико-механических характеристик

Abstract

Решалась совместная задача теплопроводности и термоупругости, в результате решения которой по предложенным критериям получения наноструктур (НС): по диапазону температур, скоростей их нарастания и величин температурных напряжений определялись зоны материала, где в объеме детали рассчитанные значения температур, скоростей их нарастания и температурных напряжений обеспечивают получение наноструктур. На основе приведенных результатов расчетов зависимостей размера зерна, объема нанокластера и глубин его залегания, числа частиц в нанокластере от энергии, сорта и заряда иона, а также обобщения зависимостей физико-механических характеристик наноструктур от размера зерна показана возможность выбора технологических и физических параметров потоков ионов для достижения требуемых физико-механических характеристик НС, толщины слоя и размера зерна.

Вирішувалася спільна задача теплопровідності та термопружності, в результаті вирішення якої за запропонованими критеріями отримання наноструктур (НС): по діапазону температур, швидкостей їх наростання і величин температурних напружень визначалися зони матеріалу, де в обсязі деталі розраховані значення температур, швидкостей їх наростання і температурних напружень забезпечують отримання наноструктур. На основі наведених результатів розрахунків залежностей розміра зерна, обсягу нанокластерів і глибини його залягання, числа частинок в нанокластере від енергії, сорти і заряду іона, а також узагальнення залежностей фізико-механічних характеристик наноструктур від розміру зерна показана можливість вибору технологічних і фізичних параметрів потоків іонів для досягнення необхідних фізико-механічних характеристик НС, товщини шару і розміру зерна.

Heat conduction problem is solved together and thermoelasticity, resulting in solutions which on the proposed criteria for fabricating nanostructures (NS): over a range of temperatures, and the growth rates of their values to determine where the thermal stress of the material, where the amount of detail the calculated values of the temperature, velocity of rise and thermal stresses ensure chiva-obtaining nanostructures. On the basis of the calculation results of the grain size dependence, the volume of the nanocluster and its depth, the number of particles in a nanocluster of energy, quality and ionic charge, as well as summarize the dependence of physical and mechanical properties of nanostructures on the grain size shows the choice of technology and the physical parameters of the flow ions to achieve friction buoy physical and mechanical properties of nanostructures, layer thickness and grain size.