Технологические параметры потоков ионов разных сортов, энергий, зарядов и плотностей токов для получения требуемых физико-механических характеристик деталей с наноструктурами

Abstract

На основе приведенных расчетов зависимостей размера зерна, объема нанокластера и глубин его залегания, числа частиц в нанокластере от энергии и заряда иона, а также обогащения зависимостей физико-механических характеристик наноструктур (НС)от размера зерна показана возможность выбора технологических и физических параметров потоков ионов для достижения требуемых физико-механических характеристик НС, толщины и размера зерна.

На основі наведених розрахунків залежностей розміру зерна, обсягу нанокластерів і глибини його залягання, числа частинок в нанокластере від енергії і заряду іона, а також збагачення залежностей фізико-механічних характеристик наноструктур (НС) від розміру зерна показана можливість вибору технологічних і фізичних параметрів потоків іонів для досягнення необхідних фізико-механічних характеристик НС, товщини і розміру зерна.

On the basis of the calculation of the ependence of the grain size, the amount of the nanocluster and depth, the number of particles in the nanoclusters on the energy, and ion charge, as well as generalize dependence of physical and mechanical properties of nanostructures on the grain size shows the choice of technology and the physical parameters of ion beams to achieve the required physical and mechanical characteristics of the nanoclusteres, the layer thickness and grain size.